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感應(yīng)耦合等離子體刻蝕系統(tǒng)利用射頻天線，通過感應(yīng)耦合方式在放電腔中產(chǎn)生高密度等離子體，同時(shí)刻蝕工作臺(tái)引入射頻偏壓，射頻偏壓作用下，等離子體中垂直向下對被刻蝕材料表...

反應(yīng)離子腐蝕技術(shù)是一種各向異性很強(qiáng)、選擇性高的干法腐蝕技術(shù)。它是在真空系統(tǒng)中利用分子氣體等離子來進(jìn)行刻蝕的，利用了離子誘導(dǎo)化學(xué)反應(yīng)來實(shí)現(xiàn)各向異性刻蝕，即是利用離...

SENTECH感應(yīng)耦合等離子刻蝕機(jī)SI 500是一款由SENTECH（德國）公司研發(fā)并生產(chǎn)的電感耦合等離子體（ICP）干法刻蝕系統(tǒng)。該產(chǎn)品以其高精度、低損傷、高...

SENTECH儀器（德國）有限公司是國際主流的半導(dǎo)體設(shè)備商，研發(fā)、制造和銷售的薄膜測量儀器PECVD和等離子工藝設(shè)備.

IBE刻蝕機(jī)采用離子束刻蝕技術(shù)，其原理基于離子和固體表面的相互作用。具體而言，離子束通過控制系統(tǒng)加速并聚焦，然后瞄準(zhǔn)待刻蝕的樣品表面。離子束在與樣品表面相撞時(shí)，...